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南臺學校財團法人南臺科技大學 / 機械工程系(所) / 林克默

導電薄膜厚度檢測裝置


研發成果與簡介
本作品工作原理類似X光技術,利用微型光譜儀量測光學薄膜膜厚。由於光學薄膜有吸收紫外線的特性,當薄膜樣品厚度改變時,其穿透率也隨著改變,所以光譜儀訊號也跟著改變。

優勢及應用範圍

作品結合光學薄膜吸收紫外線和微型光譜儀可以針對特定波段進行訊號分析之特性,大幅提升薄膜厚度量測精度,且量測機構簡潔、穩定性高,可搭配各種設備用於線上檢測膜厚。

本作品具備機構簡潔、維護容易、耗能少和穩定性高等優點,用於單機檢驗或線上檢測樣品。

技術聯絡人
南臺學校財團法人南臺科技大學 / 南臺研究所 / (06)2533131-3561